Publication: EFECTO DE LA OXIDACIÓN SOBRE EL TRANSPORTE ELÉCTRICO Y MORFOLOGÍA DE PELÍCULAS ULTRA DELGADAS DE COBRE Y CROMO
Date
2022-01
Authors
BARRA TOLOZA, VICENTE DE LA
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Abstract
La aparición de equipos electrónicos cada vez más potentes se debe a la miniaturización,
proceso en el cual se desarrollan circuitos y componentes electrónicos cada vez más
pequeños. Sin embargo, modelar las propiedades eléctricas de los metales involucrados en las
componentes se vuelve cada vez más complejo debido a los efectos de tamaño. Esto implica
que es necesario estudiar los efectos de los diversos fenómenos que aparecen al tener un
metal con alguna de sus dimensiones en el orden de unos pocos nanómetros. Este trabajo se
enfoca en los efectos del crecimiento, envejecimiento y oxidación sobre el transporte
eléctrico de películas ultradelgadas de cromo y su relación con la morfología. Además, se
contrasta los resultados obtenidos en muestras de cobre.
La metodología experimental de este estudio se basa en medir la resistencia eléctrica de
películas ultradelgadas de cromo (entre 2 y 6 nm de espesor) durante su proceso de
fabricación, envejecimiento en vacío, oxidación controlada, y finalmente, a través de la
oxidación en condiciones ambientales. Además, se determina ex situ la dependencia en
temperatura de la resistencia de las muestras, y se analizan a través de espectroscopía Raman
y microscopía de fuerza atómica. Los resultados muestran una fuerte correlación entre el
comportamiento eléctrico observado y el modo de crecimiento del cromo sobre la mica,
contrastando fuertemente con lo observado en cobre. Además, aparece drásticamente el
efecto de la oxidación sobre el transporte eléctrico en bajas presiones, formando Cr2O3, cuya
aparición en conjunto con el modo de crecimiento, será relevante para la comprensión del
comportamiento eléctrico en temperatura.
Description
Keywords
TRANSPORTE ELÉCTRICO , EFECTO DE LA OXIDACIÓN